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一般在氮氣總管出口處安裝預過濾(0.45μm)裝置,在氮氣使用點前加裝除菌過濾器裝置(0.22μm),以保證工藝用氣的無菌要求。在氮氣除菌過濾器位置安裝有純汽接入點,并且在管道設計與安裝時保持相應的坡度,保證便于對管道系統進行清洗與消毒時的可排凈性。鑒于工藝系統中需分別使用要求2.2Bar和0.3Bar的潔凈氮氣,故設計了二級減壓裝置,在使用點可對用氣的壓力時行微調。系統材質選用316L材料。
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